真空零碎中的真空元件的罕用资料
1.1、构造资料
真空零碎构造资料是形成真空零碎主体的资料，它将真空零碎与大气隔开，接受着大气压力。这类资料重要是各族非金属和非非金属资料，囊括可组装联接处的密封垫圈资料。
1.2、辅助资料
真空零碎中某些整机联接处或零碎透气处的辅助密封用的真空封脂、真空封蜡、拆卸时用的粘接剂、焊剂、真空泵及零碎中用的真空油、吸气剂、作业气体及零碎中所用的加热元件资料等。
随着真空迷信技能的停顿，新工艺、新资料确定将一直涌现。罕用的真空零碎资料见表1。
表1真空零碎中的真空元件的罕用资料壳体、管路、阀、外部整机一般碳素钢、不锈钢不锈钢、钛密封垫圈丁基橡胶、氟塑料氟橡胶、氟塑料、铜、金、银、铟导热体铜、不锈钢、铝铜、不锈钢非导体酚醛、氟塑料、玻璃、陶瓷玻璃、致密高铝瓷等视窗玻璃硼硅玻璃、通明石英玻璃光滑剂低蒸气压的油及脂二硫化钼、镀银或金加热元件镍铬铁合金、钨、钼、钽、碳布钨、钼、钽、钨—铼合金、石墨碳纤维