真空资料的甄拔准则
对真空容器壳体及外部整机资料的务求
①有剩余的机械强度和刚度来保障壳体的承压威力。
②气密性好。要维持一个完整的真空条件，器壁资料不应存在多孔构造、裂纹或构成渗漏的其它缺点。有较低的浸透速率和出气速率。
③在作业热度和烘烤热度下的饱和蒸气压要剩余低(对超高真空零碎来说尤其不足道)。
④化学稳固性好。不易氧化和侵蚀，不与真空零碎中的作业介质及工艺内中中的放气产生化学反响。
⑤热稳固性好。在零碎的作业热度(低温与高温)规模内，维持良好的真空性能和机械性能。
⑥在作业真空度及作业热度下，真空容器外部器件应维持良好的作业性能，满足作业工艺的务求。
⑦有较好机械加工性能及铆接性能。
对密封资料的务求
①有剩余低的饱和蒸气压。正常低真空时，其室温下的饱和蒸气压力应小于1.3×10-1～1.3×10-2Pa。高真空时，应小于1.3×10-3~1.3×10-5Pa。
②化学及热稳固性好。在密封部位，不因正当的温升雨产生硬化，产生化学反响或挥发，乃至被大气冲破。
③有定然的机械及物感性能。结冰后软化的固态密封资料、可塑密封资料或干涩后软化的封蜡等，要可以平滑地紧贴密封名义，无气泡、无褶子。当热度变迁时，不应急脆或裂开。液态或胶态密封资料应维持原有粘性。
④某些密封资料应能溶于某些溶剂中，再不更替时易于荡涤掉。
对真地面利用的资料除上述要求外，在某些状况下还务必思忖其电学性能、绝缘性能、光学性能、磁性能和导热性能之类。
自然，除非资料的之上性能外，还要思忖资料的利润、利用率及选购的可能等。